主要技術(shù)指標(biāo):
★ X、Y導(dǎo)軌運(yùn)動直線性：
水平≤2.5″、垂直≤3″
★ 工件臺面垂直跳動≤±2.5μm；
★ X、Y向機(jī)械導(dǎo)向正交性≤2″；
★ 工件臺行程：150×150mm；
★ 工件臺最高移動速度：20mm/Sec；
★ 測量分辨率：0.6nm（λ/1024）；
★ 工作室真空度：1.33×10-4Pa。
聯(lián)系人:胡主任、唐主任
電話:85101784、85100564
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