技術(shù)特征： 
　　創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平；真空接觸自動曝光；樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制；采用積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明；可連續(xù)設(shè)定分離間隙；采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。 
 
主要技術(shù)指標(biāo)： 
★ 曝光面積：100mm×100mm； 
★ 分辨力：　  1μm（膠厚2 μm正膠）； 
★ 對準(zhǔn)精度：±0.8μm ；　 
★ 照明均勻性：±4%（ф100mm 范圍）；　　　　 
★ 掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
★ 樣片尺寸：直徑ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　　厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)； 
★掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°； 
★汞燈功率：350W（直流）；　★曝光方式：定時（倒計時方式）。 
 
聯(lián)系人:胡主任、唐主任 
電話:85100564、85100564